
超纯系统
超纯气体输送系统
作者:admin 发布时间:2018-03-27 18:14



在超高纯气体供应系统的设计、安装和运行过程中需要充分考虑洁净度、安全性、稳定性等关键因素。超高纯气体供应系统在系统开机调试之前必须通过保压测试、氦检漏测试、水分增量测试、氧分增量测试、颗粒度增量测试来保证系统的高洁净度和高安全度。
根据国家标准GB50646《特种气体系统工程技术规范》,我们对于高纯气体系统具有深刻理解,并具备系统设计、材料保障、设备制造、项目施工、咨询顾问的交钥匙服务能力。
超高纯气体供应系统整体解决方案包括:
√大宗气体和特殊气体供应系统
√气体泄露侦测系统
√气体设备运行管理系统
√尾气处理系统
√气体供应管路系统和二次配工程
√气体系统驻厂运行服务

